Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Luận án, luận văn |
| Language: | Vietnamese |
| Published: |
2022
|
| Online Access: | https://hdl.handle.net/11742/74681 |
| Tags: |
Encyclopedia of electronics\