Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch
Được lưu tại giá sách ảo:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Luận án, luận văn |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Việt |
| Xuất bản : |
2022
|
| Truy cập trực tuyến: | https://hdl.handle.net/11742/74681 |
| Từ khóa (tag): |
| Chưa có miêu tả |
Encyclopedia of electronics\