Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Luận án, luận văn |
| Language: | Vietnamese |
| Published: |
2021
|
| Online Access: | https://hdl.handle.net/11742/65917 |
| Tags: |
Quét cầu thang: Tiểu phẩm báo chí/